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不銹鋼加熱真空腔體主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為50x50mm，臺面可升溫到350℃。

6探針氣體環(huán)境密封真空探針臺 探針臺 高溫探針測試臺 變溫探針臺真空高低溫光電器件測試探針臺

流量計數(shù)量：5個，（根據(jù)客戶需求標(biāo)定 氣體 量程 進氣口和出氣口） 氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔 流量規(guī)格：500 ml/min 精準(zhǔn)度：±1.0% S.P.（≥30% F.S.）±0.30% F.S.（＜30% F.S.） 重復(fù)精度：±0.2% F.S 響應(yīng)時間：≤1 s 密封形式：金屬密封 接頭尺寸：6 mm 漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s 通訊接口：RS485

方型真空加熱腔主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ100mm，臺面可升溫到350℃。該腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口和2-4芯信號真空電極，多可選用6芯電極。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，由內(nèi)部探針行將樣品電極引入腔體的信號線連接到外部測試儀器，外部信號線連接測試儀器來測試電子信號。

真空低溫探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本